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7月4日(月),株式会社ブイ・テクノロジー 水村通伸 先生による先端光科学講義I 「光MEMSデバイスと画像処理の応用について」,7月5日(火)〜7日(木)水村通伸 先生,滝本政美 先生による先端光科学実験実習I「DMD による映像表示および画像解析に関する実習」が開催されました.

講義では,大型露光プロセスによって精密製造されている液晶ディスプレイや有機エレクトロルミネッセンス(OEL: Organic electro-luminescence)ディスプレイの製造プロセスと,その製造プロセスに必要な検査, 修正技術について解説いただきました.また,画像処理技術とDMDを用いた製造工程における検査過程で欠陥を発見するための光学計測技術について解説いただき,その基礎と実際の計測例をご紹介いただきました.

実験実習では,講義と連携してDMD: Digital Mirror Deviceを用いた投影プロジェクタ装置を用いた,カラー画像,カラーアニメーション映写の原理についての実験と,非接触3次元表面形状顕微鏡による欠陥探索実験を 行いました.投影プロジェクタ実験では,白色光を3色フィルターのついたカラーホイールによって3原色化し,各色の残像の重ね合わせによって,画像に様々な強度でカラー着色される様子を観測し,その原理を理解する 実習を行いました.
次に カラーホイールを駆動するステッピングモーターとDMDの動作が同期して動作することによって,カラー画像が動画(アニメーション)として投影される様子を確認しました.DMDを用いた欠陥探索実験では, DMDによって高速に視野をスキャンする非接触3次元表面形状顕微鏡を用いて,液晶ディスプレイの製造工程で発生するのと同様なカラーフィルターの欠陥を実際に探索し,高速な顕微3次元計測と相関検査でどのように欠陥が 検出されるのか,その原理について実際に体験しました.